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长。”
说完便对工作人员下令道：“开始吧。”
与此同时坚守现场的罗长辉杨靖等人，尽管都穿着专业服装，却难掩心中的兴奋和激动。
他们作为研发光刻机的老人，不知多少次做梦都想看到国产极紫外光刻机，如今这个梦想眼看就要彻底变成能够触摸的现实，想依旧保持内心的平静和沉默，那实在是太难了。
甚至就连侯盛昌的呼吸都急促起来。
不过越是这个时候，大家心底那丝担忧的情绪就越发强烈。
倒不是说不信任自己这么长时间做出来的成果，只是事情没到最后一刻任何事都有可能发生。
确实难以把心彻底放下。
此次测试关乎整台光刻机的性能，只有通过测试才能进行到下一个交付环节，否则便要重新优化调试检查问题所在。
但局面变成这样的话，就不知道中间要消耗多长的调试时间。
肯定无法按照之前公开的时间交付光刻机，到那个时候半导体领域势必进一步恶化。
这种情况绝对是在场所有人都不希望看到的。
因此随着徐昀正式下达命令后，所有人都全神贯注耐心等待最终结果。
2021年6月5日，这对于国内半导体领域绝对是无比重要的一天。
研究所内由几十万零部件组成的精密仪器让人很难能移开目光，在这一刻仿佛已经形成了艺术品。
同时其价值也是普通人难以想象的。
不夸张的讲，一台极紫外光刻机的售价都高达几十亿美刀。
而徐昀采用全新核心技术研发的这台光刻机，相比阿斯麦成本上要低不少。
这点也算是国产极紫外光刻机的优势。
如果将来相互竞争的话，那么对方将很快失去原有的竞争力。
关于前期的材料准备工作早已经完成，制作成的芯片级单晶硅棒已经被切成薄片，变成高纯度的芯片级硅片也就是晶圆。
想要将晶圆制作成芯片，首先需要准备的是光刻掩膜版。
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